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圧力センサ（半導体製造関係）
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磁気式58mm
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光学式58mm以上
磁気式18~58mm
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フロート式接触・一点式金属製
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フロート式接触・多点式金属製
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光学式金属製
光学式オプション
超音波式
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導電率式Warrickコントロールシステム （導電率式液面レベルスイッチ→コントローラ）
導電率式Warrickコントロールシステム （導電率式液面レベルスイッチ→プローブ一体型フィッティング(継手)）
導電率式Warrickコントロールシステム （導電率式液面レベルスイッチ→ プローブ）
導電率式Warrickコントロールシステム （導電率式液面レベルスイッチ→ コントロール/アラームパネル）
導電率式Warrickコントロールシステム （導電率式液面レベルスイッチ→ アクセサリ）
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超高純度(Ultra-High Purity : UHP)流体用
微差圧
静電容量式
高精度
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圧力センサ（半導体製造関係）
超高純度流体用、静電容量式、高精度タイプなどの製品ラインナップは、半導体製造装置をはじめ多様な用途に最適です。
仕様一覧
超高純度(Ultra-High Purity : UHP)流体用
微差圧
静電容量式
高精度
Setra
超高純度(Ultra-High Purity : UHP)流体用
タイプ
圧力レンジ
精度(FS)
使用温度範囲
型式/出力
小型・高パージ
0~20MPa
±0.25%
-40℃~85℃
223
小型・高パージ
0~20MPa
±0.25%
-40℃~85℃
224
小型・高パージ
0~20MPa
±0.25%
-40℃~85℃
225
小型・高パージ
0~20MPa
±0.25%
-40℃~85℃
227
Setra
微差圧
タイプ
圧力レンジ
精度(FS)
使用温度範囲
型式/出力
微差圧
25Pa~±1000Pa
±0.25~±1%
-18℃~79℃
264
微差圧
25Pa~±7000Pa
±0.25~±1%
-18℃~65℃
267
Setra
静電容量式
タイプ
圧力レンジ
精度(FS)
使用温度範囲
型式/出力
VCR対応
0~100kPa
±0.25~±1%
0~+80℃
730
Setra
高精度
タイプ
圧力レンジ
精度(FS)
使用温度範囲
型式/出力
高精度・堅牢
-100kPa~6.8MPa
±0.05~±0.1%
-40℃~85℃
ASM
Setra
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