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Setra

圧力センサ（半導体製造関係）微差圧

仕様一覧

Setra 圧力センサ（半導体製造関係）

230

特長
  • 大きな最大ライン圧力
対象圧力
  • 差圧
圧力レンジ
  • 1PSI~100PSI、±0.5PSI~±50PSI
最大ライン圧力
  • 350PSIG
精度
  • ±0.25%FS
使用温度範囲
  • -18℃~+80℃
認証
  • CE、RoHS
用途
  • プロセス制御システム、各種ガスや液体の流量測定、フィルタ差圧監視

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Setra 圧力センサ（半導体製造関係）

239

特長
  • 高精度
対象圧力
  • 差圧
圧力レンジ
  • 250Pa~±35kPa
最大ライン圧力
  • 真空～1.72MPaG
精度
  • ±0.073%、±0.14%
使用温度範囲
  • -18℃~+80℃
認証
  • CE、RoHS
用途
  • 排気圧力監視、クリーンルーム室圧、フィルタ差圧監視

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Setra 圧力センサ（半導体製造関係）

264

特長
  • 微差圧測定用
対象圧力
  • 差圧
圧力レンジ
  • 25Pa~±1000Pa
最大ライン圧力
  • 69.2kPa
精度
  • ±0.25%~±1.0%FS
使用温度範囲
  • -18℃~79℃
認証
  • CE、RoHS
用途
  • 半導体製造、クリーンルーム室圧、空調、フィルタ差圧監視

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Setra 圧力センサ（半導体製造関係）

267

特長
  • 微差圧測定用、表示部有無選択可
対象圧力
  • 差圧
圧力レンジ
  • 25Pa~±7000Pa
最大ライン圧力
  • 69.2kPa
精度
  • ±0.25%~±1.0%FS
使用温度範囲
  • -18℃~65℃
認証
  • CE、RoHS
用途
  • 半導体製造、クリーンルーム室圧、空調、フィルタ差圧監視

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Setra 圧力センサ（半導体製造関係）
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