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Setra

圧力センサ（半導体製造関係）微差圧

仕様一覧

Setra 圧力センサ（半導体製造関係）

264

特長
  • 微差圧測定用
対象圧力
  • 差圧
圧力レンジ
  • 25Pa~±1000Pa
最大ライン圧力
  • 69.2kPa
精度
  • ±0.25%~±1.0%FS
使用温度範囲
  • -18℃~79℃
認証
  • CE、RoHS
用途
  • 半導体製造、クリーンルーム室圧、空調、フィルタ差圧監視

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Setra 圧力センサ（半導体製造関係）

267

特長
  • 微差圧測定用、表示部有無選択可
対象圧力
  • 差圧
圧力レンジ
  • 25Pa~±7000Pa
最大ライン圧力
  • 69.2kPa
精度
  • ±0.25%~±1.0%FS
使用温度範囲
  • -18℃~65℃
認証
  • CE、RoHS
用途
  • 半導体製造、クリーンルーム室圧、空調、フィルタ差圧監視

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Setra 圧力センサ（半導体製造関係）
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