製品を探す

Setra

圧力センサ(半導体製造関係)静電容量式

仕様一覧

Setra 圧力センサ(半導体製造関係)

730

特長
  • 静電容量、VCR対応
対象圧力
  • 絶対圧
圧力レンジ
  • 0~100kPa
応答速度
  • 20ms未満
精度
  • ±0.25~±1%
使用温度範囲
  • 0~80℃
認証
  • CE、RoHS
用途
  • 半導体製造関連装置、プラズマ滅菌器、真空包装機
製品一覧に戻る
お問い合わせ
技術資料