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Setra

圧力センサ（半導体製造関係）超高純度(Ultra-High Purity : UHP)流体用

仕様一覧

Setra 圧力センサ（半導体製造関係）

223

特長
  • 高精度、流体用
対象圧力
  • ゲージ圧、絶対圧、連成圧
圧力レンジ
  • ゲージ圧/絶対圧タイプ：0から25PSI～3000PSIから選択(Barもあり)
  • 連成圧タイプ：-14.7から85.3PSI～2985.3PSIから選択
耐圧
  • 1.16~2×FS
精度
  • ±0.25%FSまたは±1.0%(読み値))
使用温度範囲
  • -40℃~85℃
認証
  • CE、RoHS
用途
  • 半導体製造関連装置、ガス供給システム、製薬/バイオ製造

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Setra 圧力センサ（半導体製造関係）

224

特長
  • 小型、高精度、流体用
対象圧力
  • ゲージ圧、絶対圧、連成圧
圧力レンジ
  • 0~20MPa
耐圧
  • 1.16~2×FS
精度
  • ±0.25%FSまたは±1.0%(読み値)
使用温度範囲
  • -40℃~85℃
認証
  • CE、RoHS
用途
  • 半導体製造関連装置、ガス供給システム、製薬/バイオ製造

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Setra 圧力センサ（半導体製造関係）

225

特長
  • 高精度
対象圧力
  • ゲージ圧、絶対圧、連成圧
圧力レンジ
  • 0~20MPa
耐圧
  • 1.16~2×FS
精度
  • ±0.25%FS
使用温度範囲
  • -40℃~85℃
認証
  • CE、RoHS
用途
  • 半導体製造関連装置、ガス供給システム

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Setra 圧力センサ（半導体製造関係）

227

特長
  • 高精度、1.125インチ継手ブロックタイプ
対象圧力
  • ゲージ圧、絶対圧、連成圧
圧力レンジ
  • ゲージ圧/絶対圧タイプ：0から25PSI～3000PSIから選択(Torr、Barもあり)
  • 連成圧タイプ：-14.7から85.3PSI～2985.3PSIから選択
耐圧
  • 1.16~1.6×FS
精度
  • ±0.25%FSまたは±1.0%(読み値)
使用温度範囲
  • -40℃~85℃
認証
  • CE、RoHS
用途
  • 半導体製造関連装置、半導体ガス供給系集積化システム、ガス供給システム

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Setra 圧力センサ（半導体製造関係）
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